【EUVレジスト】JSR、Inpria Corporationへ出資

　JSR（株）は、米国Inpria Corporation (以下「Inpria社」) へ出資を行った。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目途に募集をかけたSeries B Fundingに参加する形になる。
　Inpria社は、設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでいる。現在、主に取り組んでいるSn(スズ)酸化物を主成分とするレジストは、学会等においてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成し、有機レジストに比べドライエッチング耐性が高いなど多数の優れた性能を有すると発表されている。
　今回の出資を通じてJSRとInpria社は、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速する。