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【応用物理学会秋季学術講演会】筑波大の浦井氏、9月15日に「レーザープラズマEUV光 によるPDMSシートへのマイクロ貫通孔の作製」について発表

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(公社)応用物理学会では、来る9月13日~16日まで、朱鷺メッセ(新潟県新潟市)において「第77回応用物理学会秋季学術講演会」を開催する。3千件を越える発表と、7千名前後の参加者を予定し、光、薄膜・表面、超伝導、有機分子・バイオエレクトロニクス、半導体、結晶工学、プラズマエレクトロニクス、スピントロニクスなど発表分野は多岐に亘る。
  筑波大の浦井ひかり氏は、9月15日に、「レーザープラズマEUV光 によるPDMSシートへのマイクロ貫通孔の作製」について発表する。
 レーザープラズマEUV光 によるシリコーン(PDMS)のアブレーション加工において、平行度の高いビームを入射できる全反射光学系 の採用など、原理・ 方法上の問題点を解決し、15μmのPDMSシートへの直径2μm貫通孔作製の実証に至った。バイオチップ、 微小化学分析器において重要なマイクロメートルスケールでの加工法であり、新しい展開が期待できる。講演番号: 15a-P3-3

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