【半導体】JSR、Inpria Corporationへ追加出資

　JSR（株）は、米国オレゴン州コーバリスにあるInpria Corporationへ追加出資を行った。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目的に新たに募集をかけたSeries C Fundingへの参加となる。
　Inpria社は、設立以来、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでおり、現在、Sn (スズ) 酸化物を主成分とするレジストは、学会等においてEUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成している。
　今回の出資を通じてJSRとInpria社は、多様な面で協力し、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを加速する。