(株)SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、彦根事業所において、滋賀県が実施する「令和元年度滋賀県低炭素社会づくり賞(事業者行動計画書制度部門)」を受賞した。表彰式は10月16日に「びわこ環境ビジネスメッセ2019」の会場にて行われる。
「滋賀県低炭素社会づくり賞」は、滋賀県低炭素社会づくりの推進に関する条例に基づく事業者行動計画書制度において、事業者行動計画書および報告書を提出した者の中から、事業活動における自社の温室効果ガス排出量の削減に関して他の事業者の模範となる、特に優れた取り組みを行っている事業者を表彰するもので、平成25年から実施されている。 今回の受賞は、彦根事業所に2019年1月に竣工した半導体製造装置の新たな生産拠点「S3-3(エス・キューブ・スリー)」において、タスクアンビエントクリーン方式※の空調・照明を採用し省エネ対策を実施したことや、社内の省エネプロジェクトとしてコンプレッサーの統合と台数制御設定圧力変更によるアンロード電力を最小化したほか、クリーンルームの室圧を下げ最適な圧力設定によるエネルギー削減を推進したことなどが高く評価された。
※クリーンルーム空間に制御用センサーを配置し、タスク域(作業空間)とアンビエント域(それ以外の空間)を常時監視しタスク域に集中して温度および気流を制御する空調方式。全体を均一に空調する方式と比べ、タスク域のみを集中して制御することで、空調負荷およびランニングコストの低減が可能となる。
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【滋賀県低炭素社会づくり賞】SCREENセミコンダクターソリューションズ、彦根事業所で受賞
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