【カーボンナノ系冷陰極X線管】明電舎、製品化に成功。小型・軽量・省電力でいつでもどこでも非破壊検査を可能に

　（株）明電舎は、カーボンナノ系冷陰極X線管（管電圧120kV、管電流1mA）の基礎研究・製品開発を2014年から行っており、このたび製品化に成功し、2019年10月より販売を開始する。
　同製品は、X線検査装置のX線を発生させる部品。現在使われている熱陰極X線管に比べ、小型・軽量・省電力になり、X線検査装置の小型・軽量化が可能になる。今までのX線検査装置は大きく、重量があるため、限られた用途のみでしか使用できていなかったが、小型化によりプラント配管検査などインフラ分野への用途拡大が見込まれ、さらに駅やイベント会場等での手荷物検査等への適用も期待される。

　カーボンナノ系冷陰極X線管は、これまで製造工程が難しく製品化には至っていなかった。明電舎は、半導体製造装置用真空コンデンサの開発・製造を1994年から行っており、そこで得た真空技術（真空コンデンサの可変機構と真空炉中真空封止方式）の応用（明電舎特許技術）により、製品化に成功した。

　明電舎は、同製品の投入により、新たに非破壊検査市場に参入する。今後、市場ニーズに応じ、製品ラインアップを増やし、小型X線検査装置の普及に貢献する。そして、中期経営計画2020の基本方針である「新たな事業領域における成長拡大・新規事業創出」を実現し、電子機器事業の拡大を目指す。
※同製品は、（国研）産業技術総合研究所およびライフ技術研究所（株）の技術を使用している。また、明電舎は同製品の製造・販売に関し両社と特許実施許諾契約を締結している。
■カーボンナノ系冷陰極X線管について
　カーボンナノ系冷陰極X線管は、陰極にカーボンナノ系電子源を使用したX線管。この電子源は、カーボンナノ構造の先端から電界電子放出により電子を放出する方式で、従来の熱陰極X線管（タングステンフィラメントを加熱して熱電子放出により電子を放出する方式）に比べ、フィラメントの加熱が不要なため、小型・軽量・省電力が可能な電子源。この電界電子放出方式により、X線が必要な時に、瞬時に照射できるため、装置のX線量の低線量化やX線管の長寿命化が可能。また、X線管の大きさが熱陰極X線管に比べ、半分以下（同社調べ）になることから、X線検査装置の小型化、軽量化が期待されている。