日本半導体製造装置協会（SEAJ）が発表した3月度の半導体製造装置速報によると日本製装置（輸出を含む）の販売高は、前月比14.4％増（2020年2月度確定値は172,420万円）、前年同月比4.8％増（2019年3月度は188,209百万円）の197,268百万円だった。
注意：データは3カ月移動平均
日本製半導体製造装置 販売高
販売（3カ月平均）単位：百万円
2019/10
180,690（前月比1.4％、 前年比－9.7％）
2019/11
184,932（前月比2.3%、前年比－9.6%）
2019/12
177,967（前月比－3.8％、前年比5.9％）
2020/1
170,129（前月比－4.4％、前年比3.1％）
2020/2（確定値）
172,420（前月比1.3％、前年比14.4％）
2020/3（暫定値）
197,268（前月比14.4％、前年比4.8％）
本データは速報値（3 カ月移動平均）。確定値とは多少差異が生じる場合がある
なおSEMIは北米製の半導体製造装置のBillings の速報を発表している
http://www.semi.org/en/MarketInfo/billings
FPD製造装置速報値は日本製装置（輸出を含む）の販売高は前月比26.7％減（2020年2月度は42,959百万円）、前年同月比23.2％（2019年3月度は41,027百万円）の31,494百万円だった。
FPD製造装置日本製装置（輸出を含む） 販売高
※販売高の算出に当たっては、3カ月移動平均データを使用
販売（3カ月平均）単位：百万円
2019/10
44,156（前月比5.1％、前年比－5.0％）
2019/11
36,833（前月比－16.6％、前年比－21.4％）
2019/12
42,904（前月比16.5％、前年比－2.8％）
2020/1
44,033（前月比2.6％、前年比－3.4％）
2020/2
42,959（前月比－2.4％、前年比3.3％）
2020/3
31,494（前月比－26.7％、前年比－23.2％）